Ulrich Plachetka und Aachen - Info zur Person

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Ulrich PLACHETKA | AMO GmbH, Aachen | AMO | Nanopatterning -...

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Ulrich Plachetka Max Christian Lemme A triple step alignment process for UV nanoimprint lithography (UV-NIL) for the fabrication of nanoscale fin field effect transistors (FinFETs) is presented.

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