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Entwicklung schneller integrierter thermischer Strömungssensoren in Siliziumtechnologie für Flüssigkeiten und Gase

von Ralf Kersjes, Shaker VerlagTaschenbuch

Entwicklung schneller integrierter thermischer Strömungssensoren in...

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Entwicklung schneller integrierter thermischer Strömungssensoren in Siliziumtechnologie für Flüssigkeiten und Gase. Front Cover. Ralf Kersjes. Shaker,

Veröffentlichungen allgemein

Micromachined Devices and Components II | (1996) | Publications | Spie

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* Available as a photocopy reprint only. Allow two weeks reprinting time plus ... Author(s): Ralf Kersjes; W. Mokwa

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