Stephan Altmannshofer und Halbleitertechnologie - Info zur Person

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Stephan Altmannshofer. Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie. In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geach…

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